最小檢測(cè)元件尺寸：01005(英制）

測(cè)量：體積、面積、高度、XY偏移、形狀

精度：XY分辨率<10um，高度=0.37um

重復(fù)精度：高度≤1um(4sigma)

體積/面積：<1%(4sigma)

裝載PCB尺寸：L50*W50-L450*W500mm

彎曲PCB最大測(cè)量高度： ±5mm

最大檢測(cè)高度：±550um(選件：±12000um ）

相機(jī)：500萬像素高端工業(yè)相機(jī)

PCB厚度：0.4-7mm

最小元件：01005/03015/008004

基準(zhǔn)點(diǎn)檢測(cè)時(shí)間：0.3秒/個(gè)

視場(chǎng)速度：0.35s/視場(chǎng)